电子束焊机用高压电源的高效小型化是电子束焊机的发展需要。电子束焊机从当初的试验室应用发展到应用于工业领域以来，其高压电源亦经过了近50年的发展历程。从高压电源的发展阶段看，最初的高压电源由调压器人工开环控制和调节高压，整流器件为闸流管，这种原始的控制和调节仅满足于试验研究和要求不高 的应用场合。体积大、效率低、操作复杂和可靠性差是该种电源的主要缺点。随着近代电子技术及电力电子技术的快速发展，一些先进的元器件如晶闸管被成功地应 用到高压电源的设计和制造领域。由于电源采用闭环控制，实现了高压的自动控制和调节，这使电源的稳定性、纹波电压及可靠性等技术指标都得到了显著的提高， 而高压电源性能的提高也改善了电子束焊机的焊接质量，促进了电子束焊机的发展。
自上世纪90年代以来，新型电力电子器件（如IGBT）、数字控制技术及自动控制技术的快速发展和广泛应用，更加促进了电子束焊机电源的发展。西方国家开 始应用现代新技术和新材料研制电子束焊机，如比较大型的电子束焊机及电子束技术应用生产线均采用计算机控制，实现人工智能化操作和管理。一般小型机则采用 PLC控制，由于PLC具有较强的抗干扰能力及控制功能强等特点，容易实现对电子束焊机的可靠控制。

高压电源是设备的关键技术之一，它主要为电子枪提供加速电压，其性能好坏直接决定电子束焊接工艺和焊接质量。电子束焊机用高压电源与其它类型的高压电源相比，具有不同的技术特性,技术要求主要为纹波系数和稳定度，纹波系数要求小于1%，稳定度为±1%，甚至纹波系数小于0.5%，稳定度为±0.5%，同时重复性要求小于0.5%。以上要求均根据电子束斑和焊接工艺所决定。电子束焊机用高压电源的操作是必须与有关系统进行连锁保护，主要有真空连锁、阴极连锁、闸阀连锁、聚焦连锁等，以 设备和人身 。高压电源必须符合EMC标准，具有软起动功能，防止突然合闸对电源的冲击。